凯美特气澄清:ASML子公司认证气体不涉及高纯氦气

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7月20日消息,据媒体报道,凯美特气近日在互动平台向投资者明确表示,公司获ASML子公司Cymer认证的光刻气产品不涉及高纯氦气,直接回应了市场关于两项业务关联性的关注。

回溯来看,凯美特气控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司于2023年2月收到Cymer公司合格供应商认证函,公司光刻气产品正式被列入Cymer供应商名单。

Cymer是全球领先的准分子激光源提供商、深紫外技术行业领导者,其产品包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。该认证充分体现了头部光刻机激光设备厂商对公司光刻气生产能力与产品质量的权威认可。

在高纯氦气领域,凯美特气亦早有布局。公司此前在互动平台透露,岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司拥有氦气精制提纯装置,可生产5N至6N等级的高纯氦气。

今年以来,全球氦气供应持续趋紧。7月10日,商务部、海关总署发布公告,对氦气实施临时禁止出口管理。受此消息影响,凯美特气股价一度涨停,市场对公司氦气业务的关注度显著升温。

据了解,凯美特光刻气产品已同时获得ASML子公司Cymer及日本GIGAPHOTON株式会社双重认证,公司电子特气产品正加速导入国内半导体头部厂商。而高纯氦气作为另一条重要业务线,在半导体、航天、医疗等高精尖领域同样具备广阔的应用前景,双线并进格局渐趋清晰。